長達國際有限公司 PVD/CVD 薄膜製程教學內容 | |||
項目 | 教學內容 | 項目 | 教學內容 |
PVD | 課程概述、薄膜材料科學 | CVD | CVD製程原理、其前處理 |
真空技術 | 電漿輔助Plasma assisted CVD製程技術與應用 | ||
電漿放電、離子與材料表面反應 | 微波(Microwave) CVD製程技術與應用 | ||
基材表面與薄膜成核 | 高溫 (Thermal) CVD製程技術與應用 | ||
PVD製程技術與應用:陰極電弧鍍膜技術與應用 |
滲透及擴散型 CVD製程技術與應用 | ||
PVD製程技術與應用:磁控濺鍍技術與應用 |
PVD/ CVD | 多功能(Multi-function) PVD/CVD 混合製程技術與應用 | |
PVD/ CVD |
製程參數效應與膜層設計 | ||
PVD/ CVD |
薄膜與材料表面的特性分析 | ||
PVD/ CVD |
薄膜之機械性質分析 |
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